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16英寸低温泵(八匹马)

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产品概述:

低温真空泵:低温真空泵是基于气体冷凝降压效应,将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附,从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中,其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中,低温真空泵均具有不可替代的作用,在上述行业中提供必要的高真空条件。

详细信息

性能参数

抽气速度

氮气

L/s

5000

氢气

10000

氩气

4200

水蒸气

16000

抽气容量

氩气

L

4300

氢气

20

极限真空

Pa

10-7

吸气口法兰

LF400

质量

Kg

61

再生控制器

具备再生控制器