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产品概述:
低温真空泵:低温真空泵是基于气体冷凝降压效应,将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附,从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中,其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中,低温真空泵均具有不可替代的作用,在上述行业中提供必要的高真空条件。
性能参数表格:
抽速(L/s) |
氮气 |
10000 |
氢气 |
18000 |
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氩气 |
8400 |
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水蒸气 |
29000 |
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容量(L) |
氩气 |
6000 |
氢气 |
46 |
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极限真空(Pa) |
10-7 |
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吸气口法兰 |
ISO550 |
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质量(kg) |
143 |
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再生控制器 |
自动再生 |
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降温时间(min) |
180 |