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功能薄膜沉积

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多源有机蒸发真空镀膜机

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产品概述:

有机金属热沉积系统是一种热蒸发的方式, 用于将有机或金属材料沉积到基板表面上. 有机材料热沉积系统使用高精准热蒸发源作为加热源, 并使用金属, 石英, 陶瓷或 PBN 坩埚来容纳有机材料以及 PID 控制器来控制其沉积速率,可在 OLED 上堆叠多层薄膜, 广泛应用于有机发光二极体, 有机光伏打电池和材料科学研究.

详细信息

腔体尺寸可定制,配置分子泵超高真空系统;
有机蒸发源可布置2-20个蒸发源;
优异的薄膜均匀度小于 ±3%,可选配1个或多个膜厚控制仪,同时具备共蒸发工艺;
用于有机材料的蒸发源(可用金属、陶瓷、石墨或 PBN 坩埚),采用PID闭环控制;
蒸发源温度控制可达到精度 ±0.1,同时先进的热场设计,能够规避蒸发大颗粒产生;
具有顺序操作或共沉积的多个蒸发源,公司具有多个蒸发源工作设计制造经验;
每个蒸发源和基材均有安装遮板,可根据需要调整挡板位置和角度;
公司为中国华能集团研发了大尺寸有机蒸发系统,用于新能源领域。