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功能薄膜沉积

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桌面式真空镀膜机

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产品概述:

    research系列桌面式真空镀膜机,可选配电阻蒸发、电子束蒸发、有机蒸发、磁控溅射、真空烧结、等离子刻蚀等功能,满足客户实验室面积受限客观情况。

详细信息
根据客户实际需求定制,用磁控溅射、热蒸发制备纳米级、微米级薄膜,可选配离子源、自溅射和偏压清洗,特别适合于科研院所制备精密薄膜。