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关于真空镀膜机镀膜均匀性概念

时间:2022-02-19 22:09:08   点击:560

1.对于真空镀膜机镀膜的均匀性上,通常也可以理解为镀膜之后的粗糙度。以光学薄膜的标准来看,真空镀膜的均匀性现已相当好,能够轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说关于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何阻遏。但是假定是指原子层标准上的均匀度,也就是说要结束10A乃至1A的外表平整,具体控制要素下面会根据不同镀膜给出具体说明。



2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会因为标准过小而很简单的产生不均匀特性,这也是真空镀膜的技能含量地址。 具体要素也在下面给出。

3.晶格有序度的均匀性: 这挑选了薄膜是非晶,单晶,多晶,是真空镀膜技能中的热点问题。